离子液体填充实现MOF室温刻蚀图形化

东京科学大学研究团队针对金属有机框架（MOF）材料在微纳加工中易坍塌的难题，开发出离子液体填充工艺。研究团队将离子液体填充至铜基MOF 50%–60%的孔体积中，使其在室温镓离子束干法刻蚀下不再坍塌，取代了此前需液氮冷却的昂贵工艺。硬度测试显示经处理样品全部变硬，热分析表明其耐受温度显著提高。该低成本可扩展方法让已知的100,000余种MOF更易用于高灵敏度传感器与微催化剂。

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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。