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机器视觉结合干涉法标定大口径单体镜

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AI 综述

2026年11月13日,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所研究人员在《Measurement》发表研究,提出机器视觉与干涉测量结合的标定方法,用于四米级整块反射镜。该方法用四台工业相机沿两个正交方向建立独立几何参考,分离镜面固有偏移与测试光路对准的横向位移,从而区分两者在波前中产生的彗差,最终得到31微米的合成标准不确定度。

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11月13日
  1. Phys.org · Physics
    机器视觉与干涉测量结合提升大口径整块反射镜标定精度

    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所研究人员在《Measurement》发表研究,提出机器视觉与干涉测量结合的标定方法,用于四米级整块反射镜,得到 31 微米的合成标准不确定度。该方法用四台工业相机沿两个正交方向建立独立几何参考,分离镜面固有偏移与测试光路对准的横向位移,从而区分两者在波前中产生的彗差。

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